浙商证券-微导纳米(688147)深度报告：中国ALD设备龙头，半导体光伏两翼齐飞-230216

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微导纳米作为中国ALD设备行业的龙头企业，其原子层薄膜沉积技术在半导体和光伏设备领域均取得显著进展。公司成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线，并在多个细分应用领域获得订单。同时，公司首创将ALD技术应用于光伏领域，技术覆盖多种电池路线，并在TOPCon整线工艺订单放量。公司营收从2018年的0.42亿元增长至2021年的4.28亿元，CAGR高达117%。预计2024年我国ALD设备市场规模超百亿元，公司作为国产替代的领军者，有望加速突破市占率。光伏设备方面，公司全面布局新型电池路线，TOPCon领域市占率超过60%，预计2022-2025年将迎来扩产高峰。公司当前在手订单高增长，人员和产能大幅提升，募投项目将大幅扩产，彰显发展信心。

• 微导纳米是中国ALD设备行业的龙头企业，技术引领半导体和光伏设备领域。
• 公司营收自2018年以来实现快速增长，2021年营收达到4.28亿元，CAGR为117%。
• 预计2024年我国ALD设备市场规模超百亿元，微导纳米作为国产替代领军者，市占率有望加速突破。
• 光伏设备领域，公司全面布局新型电池路线，TOPCon领域市占率超过60%，预计将迎来扩产高峰。
• 公司当前在手订单高增长，人员和产能大幅提升，募投项目将大幅扩产，彰显发展信心。