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浙商证券-微导纳米(688147)深度报告：中国ALD设备龙头，半导体光伏两翼齐飞-230216

 中国 ALD设备龙头，技术引领半导体、光伏设备领域 公司以原子层薄膜沉积技术为核心，下游覆盖半导体、光伏、柔性电子三大领域。公司是国内首家成功将 High-k原子层沉积设备应用于 28nm集成电路制造前道量产线的国产设备公司，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多个细分应用领域获得订单。公司首创将 ALD技术应用于光伏领域，技术覆盖 PERC、TOPCon、xBC、钙钛矿等电池路线，TOPC