研究报告

国信证券-射频电源行业专题：等离子体加工设备核心零部件，实现设备自主可控的必要条件-230419

射频电源是等离子体加工设备核心零部件。射频电源是产生等离子体的核心零部件，对等离子体加工设备的加工能力和加工效果影响很大。主要影响领域包括半导体中刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗去胶等环节和光伏中薄膜沉积环节，射频电源的性能对形成的等离子体质量和稳定性至关重要，因此对于输出方式、输出效率、输出稳定性等都有极高要求，是半导体零部件中高技术壁垒的零部件之一。 射频电源价值约为设备成本12%，2022年射