研究报告

硅基新材料行业分析框架-20230320-国信证券-35页

◆ 四氯化硅是有机硅合成、三氯氢硅、多晶硅生产过程中的重要原料和中间产物，四氯化硅按纯度可以分为工业级四氯化硅与高纯四氯化硅（包括半导体级、电子级），高纯四氯化硅是光纤通讯、集成电路、气凝胶制造生产不可或缺的基础原材料，半导体级四氯化硅主要用于生产光纤预制棒；电子级四氯化硅气体主要用于薄膜沉积与蚀刻工艺，高纯四氯化硅可用于生产正硅酸乙酯（TEOS），高纯正硅酸乙酯是气凝胶主要原料；电子级正硅酸乙酯