Research report

国金证券-电子行业深度研究：光刻机光学-国产之路道阻且长，“中国蔡司”未来可期-230418

光刻机光学：国产之路道阻且长，“中国蔡司”未来可期 行业观点 光刻机是半导体设备中最昂贵、最关键、国产化率最低的环节，全球光刻机市场被荷兰ASML、日本佳能、尼康三大巨 头垄断。光学系统是光刻机的核心，光刻机制程越小，对光学系统的精度要求越高，目前仅有少数公司（德国蔡司、 日本佳能、尼康）具备光刻机超精密光学系统供应能力。 伴随荷兰、日本、美国加大半导体设备出口限制，光刻机、光刻机光学零部件国产替