Research report

中信建投-微导纳米(688147)光伏与半导体设备系列报告：先进薄膜设备供应商，光伏半导体齐开花-230613

公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD 等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，产品覆盖半导体、光伏、新型显示等多个领域。①光伏领域：公司是光伏ALD 设备龙头，并全力推进工艺整线策略提升产品覆盖价值量，有望充分受益于 TOPCon电池大扩产实现订单的快速增长。②半导体领域：公司实现了国产 ALD 设备在 28nm 集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破，并基于客户