Research report

财通证券-半导体行业深度分析报告：光刻为半导体设备之巅，冰山峰顶待国产曙光-230223

 光刻是半导体生产中最重要的工艺步骤：光刻是半导体器件制造的最核心步骤，直接决定集成电路的性能和良率。光刻机的核心工艺指标包括：分辨率、聚焦深度、套刻精度、曝光功率及单位时间产能等。主流的光刻机均采用浸没系统、可编程光照、畸变修正、热效应修正、对准与表面测量等高难度技术。光刻设备均具有高技术附加值,毛利率超过 50%。  成熟工艺领域为主，国内光刻设备市场广阔：中国大陆以成熟制程为主的半导体产