Research report
PECVD设备:公司核心产品,产业化持续推进。公司深耕薄膜设备近十余年,形成了覆盖全系列PECVD薄膜材料的设备,目前是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD设备厂商,产品广泛应用于逻辑、DRAM、3DNAND及先进封装领域,设备本土主要产线覆盖率超15%,公司持续扩大产品应用领域,产品市占率持续提升
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