半导体设备精密零部件的研发、生产和销售,主要产品包括机械及机电零组件(腔体、内衬、匀气盘等工艺零部…
沈阳富创精密设备股份有限公司成立于2008年6月24日,2020年10月整体变更为股份公司,2022年10月10日在上海证券交易所科创板上市,无证券简称更名。公司总部位于沈阳市浑南区飞云路18甲-1号,是国内半导体设备精密零部件领军企业,产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心制程设备,是少数可量产应用于7纳米制程设备精密零部件的本土厂商。